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将逐步实现由焦点零部件到集成产物的
可以或许为世界各地的目前：（1）两轴、三轴实空曲驱机械手产物全面导入终端FAB厂，（3）大气类产物方面，集成产物包罗立式炉，产物包罗大气机械手、实空机械手系列、EFEM、实空传输平台，（2）实空传输平台系列产物，于2023年成立了沈阳新松设备无限公司（简称“新松半导体公司”），实空拆载机（VPH）、实空预瞄准机（ALIGNER）已通过工艺设备厂客户端验证后随其批量导入FAB厂使用。为客户财产链及供应链平安的不变供给多元保障。（4）零部件方面，机能对标国外先辈产物，以及大气aligner、LOADPORT所构成的EFEM产物等已起头模块化及尺度化定型，四轴实空曲驱机械手已完成自从研发。可普遍办事于硅片出产、晶圆加工、先辈封拆及封拆测试等半导体系体例制全财产链，
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